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壓力開關傳感器

日期:2025-04-02 21:33
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摘要:

     壓力開關傳感器是一種將壓力轉(zhuǎn)換成電流/電壓的器件,可用于測量壓力、位移等物理量。壓力傳感器的種類很多,其中硅半導體傳感器因其體積小、重量輕、成本低、性能好、易集成等優(yōu)點得到廣泛的應用。硅壓阻式傳感器屬于其中的一種,它是在硅片上用擴散或離子注入法形成四個阻值相等的電阻條,并將它們接成一個惠斯登電橋。當沒有外加壓力時,電橋處于平衡狀態(tài),電橋輸出為零。當有外加壓力時,電橋失去平衡而產(chǎn)生輸出電壓,該電壓大小與壓力有關,通過檢測電壓,即可得到相應的壓力值。但這種傳感器由于四個橋臂電阻不完全匹配而引起測量誤差,零點偏移較大,不易調(diào)整。  

     Motorola公司生產(chǎn)的X型硅壓力開關傳感器則可以克服上述缺點。與惠斯登電橋不同,Motorola**技術采用單個X型電阻元件,而不是電橋結(jié)構(gòu),其壓敏電阻元件呈X型,因而稱為X型壓力開關傳感器。該X型電阻是利用離子注入工藝光刻在硅膜片上,并采用計算機控制的激光修正技術,溫度補償技術,使MotorolaMPX系列壓力開關傳感器的精度很高,其模擬輸出電壓正比于輸入的壓力值和電源偏置電壓,具有極好的線性度,且靈敏度高,長期重復性好。此系列中的MPX2100DP壓力傳感器是一種高精度硅壓式壓力傳感器,本系統(tǒng)采用MPX2100DP作為壓力開關傳感器,可以很好地滿足系統(tǒng)的要求,它具有如下特點:

    ①由于采用激光微調(diào)技術,使電橋零漂輸出很小,一般小于±1mV;

    ②傳感器靈敏度較高,為40mV±1.5mV

    ③傳感器由熱敏電阻組成溫度補償網(wǎng)絡,在-40℃~ +125℃范圍內(nèi)有較好的溫度補償效果,從而提高了傳感器的精度;

    ④具有極好的線性度(±0.25%F.S); 

    ⑤有較寬的工作溫度范圍(-40℃~ +125℃);

    ⑥允許過載大(400%)。 
文章來源:上海卓盼電子科技有限公司  m.suofeisy.com 

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